Thin-film piezoelectric MEMS transducer suitable for middle-ear audio prostheses

  1. Campanella, H.
  2. Camargo, C.J.
  3. López Garcia, J.
  4. Daza, A.
  5. Urquiza, R.
  6. Esteve, J.
Zeitschrift:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 21

Nummer: 6

Seiten: 1452-1463

Art: Artikel

DOI: 10.1109/JMEMS.2012.2211571 GOOGLE SCHOLAR
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