Thin-film piezoelectric MEMS transducer suitable for middle-ear audio prostheses

  1. Campanella, H.
  2. Camargo, C.J.
  3. López Garcia, J.
  4. Daza, A.
  5. Urquiza, R.
  6. Esteve, J.
Aldizkaria:
Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN: 1057-7157

Argitalpen urtea: 2012

Alea: 21

Zenbakia: 6

Orrialdeak: 1452-1463

Mota: Artikulua

DOI: 10.1109/JMEMS.2012.2211571 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus